Inficon UL1000 Helium leak detector Instrukcja Użytkownika

Katalog-Nr.Ab Software-VersionTECHNISCHES HANDBUCHUL1000 Fab und UL1000Helium-DichtheitsprüfgerätUL1000:550 - 000A550 - 001A550 - 002AUL1000 Fab:

10 Allgemeinesiina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1.2 Unterstützung vom INFICON ServiceFalls Sie ein Gerät an INFICON oder einen autorisierten Rep

100 Wartungsarbeiteniina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)9.2 Wartung oder Service bei INFICON Falls Sie ein Gerät an INFICON zur Reparatur oder War

Wartungsarbeiten 101iina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)9.4 WartungsplanBaugruppe Wartungsarbeiten Betriebsstunden/Jahre Service-stufeErsatz-UL100

102 Wartungsarbeiteniina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)9.5 WartungsgruppenDer Wartungsplan für den UL1000/UL1000 Fab/UL1000 lässt sich zur einfac

Wartungsarbeiten 103iina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)Der Arbeitsaufwand für die Wartung beträgt ca. 2,5 Stunden und variiert auf Grund vom Aust

104 Wartungsarbeiteniina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)Mit Erreichen der 16000 Betriebsstunden, ist die Lebenserwartung der verschieden Vorpumpen

Wartungsarbeiten 105iina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)9.5.7 Öffnen des Gerätes zu WartungszweckenBenötigtes WerkszeugSeitenwandtrenner aus Zubeh

106 Wartungsarbeiteniina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)9.6 Prüfen und Austausch des LuftfiltereinsatzesDer Verschmutzungsgrad des Luftfiltereinsa

Wartungsarbeiten 107iina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408) • Beachten Sie beim Einsetzen des neuen Luftfiltereinsatzes die Lüftungs-richtung. Sie is

108 Wartungsarbeiteniina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)• Schalldämpfer vom Anschlussadapter abschrauben und durch neuen Schalldämpfer ersetzen un

Wartungsarbeiten 109iina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)9.8 Auspuff Filter kontrollieren/entleerenBenötigtes WerkzeugRing- Maulschlüssel SW 17 mmD

Allgemeines 11iina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1.2.1 ServicezentrenFalls Sie dringend eine Unterstützung benötigen, wenden Sie sich bitte an de

110 Wartungsarbeiteniina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)Für den Austausch des Filtereinsatzes gehen Sie wie folgt vor:• Lockern Sie den Spannring

Wartungsarbeiten 111iina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)• Neuen Filtereinsatz auf Haltevorrichtung aufschieben und in Filterhaube einschrauben. Ha

112 Wartungsarbeiteniina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)Durch das Ölschauglas der Vorpumpe D16 B kann der Ölstand und die Ölverfärbung visuell kon

Wartungsarbeiten 113iina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)Weitere Ölwechsel sollen vor oder nach längerer Lagerung der Pumpe durchgeführt werden.Ben

114 Wartungsarbeiteniina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)9.11 Scrollpumpe (nur UL1000/UL1000 Fab)Die Wartungsintervalle der Scrollpumpe (Agilent T

Appendix 115UL1000 Fab iina70dSIX.fm Technisches Handbuch(1408)AppendixADiagrammAbb. 10-1

116 KonformitätserklärungUL1000 Fab iina70dSIX.fm Technisches Handbuch(1408)B Konformitätserklärung

117 IndexUL1000 Fab iina70dSIX.fm Technisches Handbuch(1408)C IndexAAbmessungen 16Accessories 28Alarm 63Audioalarm 16Auslieferungszustand 33Auspu

Index 118UL1000 Fab iina70dSIX.fm Technisches Handbuch(1408)PPurge/Gas Ballast 32QQT 100 46RRelaisausgang 61RS232 27, 31SSaugvermögen 15Schalldru

INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, GermanyUNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGD

12 Allgemeinesiina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)Norwegen [email protected] Syrien [email protected].: +45 741

Allgemeines 13iina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1.3 Einführung1.3.1 VerwendungszweckDer UL1000 und UL1000 Fab sind Helium-Dichtheitsprüfgeräte.

14 Allgemeinesiina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)Nur für den Gebrauch des UL1000 Fab:Sollte ein Einsatz vorgesehen sein, bei dem giftige Stoffe g

Allgemeines 15iina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1.3.2 Technische Daten1.3.2.1 Physikalische DatenHinweis: Zum Erreichen des Bereiches mit der m

16 Allgemeinesiina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1.3.2.3 Weitere technische Daten1.3.2.4 Umgebungsbedingungen1.4 AuspackenDer UL1000 und UL1000 F

Allgemeines 17iina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1.4.1 Lieferumfang• Helium-Dichtheitsprüfgerät UL1000 oder UL1000 Fab.• Auspuffschlauchadapter (

18 Allgemeinesiina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1.4.2 Zubehör und OptionenDie nachfolgend aufgeführten Teile können zusätzlich bestellt werden:1

Allgemeines 19iina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1.4.2.5 Fernbedienung RC1000Die drahtlose Fernbedienung RC1000 erlaubt den Betrieb des UL1000 un

2iina70dIVZ.fm Technisches Handbuch(1408)

20 Allgemeinesiina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1.4.2.6 Testkammer TC1000Diese Testkammer macht aus dem UL1000 oder dem UL1000 Fab einen komplet

Installation 21iina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)2 Installation2.1 TransportUL1000 Fab mit Triscroll TS 620Beim Transport des Gerätes muss das C

22 Installationiina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)Die an dem Chassisboden angezogenen Schrauben sichern das Gerät beim Transport.Beim Arbeiten mi

Installation 23iina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)Danach die Schrauben etwa 10 mm herausdrehen und schließlich die Kontermutter wieder anziehen.Z

24 Installationiina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)Es wird empfohlen, in einem Bereich von 10 m um den UL1000 und UL1000 Fab herum alle größeren H

Installation 25iina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)2.3 Elektrische Anschlüsse2.3.1 NetzanschlussHinweis: Allgemein gilt, dass die örtlichen Besti

26 Installationiina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)Hinweis: Wenn das Gerät nicht in Betrieb ist, dann kann das Kabel an den Kabelhaltern aufgewic

Installation 27iina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)2.3.2 Anschlüsse für Zubehör und SteuersignaleTipp Bei den Anschlüssen Zubehör (Accessories), D

28 Installationiina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)2.3.2.1 Zubehör (Accessories)An diesem Anschluss Abb. 2-6/1 kann die Schnüffelleitung SL200 ode

Installation 29iina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)Ausgang an, dass das externe Testleck geschlossen werden muss.Während der externen Kalibrierun

Inhaltsverzeichnis 3iina70dIVZ.fm Technisches Handbuch(1408)Inhaltsverzeichnis1 Allgemeines 71.1 Hinweise zum Gebrauch dieses Handbuches 71.1.1 Sich

30 Installationiina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)PurgeWechsel Low nach High: Spülen einschalten.Wechsel High nach Low: Spülen ausschalten.Clea

Installation 31iina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)2.3.2.5 RS232Diese RS232 Schnittstelle Abb. 2-6/5 ist als DCE (Data Communications Equipment) a

32 Installationiina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)2.4.2 AuspuffDer Auspuff-Flansch Abb. 2-6/12 befindet sich unter dem UL1000 und UL1000 Fab auf

Installation 33iina70d 02.fm Technisches Handbuch(1408)2.5 AuslieferungszustandDie folgenden Parameter werden wie angegeben gesetzt, wenn man im Menü

34 Überprüfungen vor der Inbetriebnahmeiina70d 03.fm Technisches Handbuch(1408)3 Überprüfungen vor der InbetriebnahmeIn diesem Kapitel werden die Schr

Überprüfungen vor der Inbetriebnahme 35iina70d 03.fm Technisches Handbuch(1408)Nach dem Einschalten wird auf dem Display der Bedieneinheit ein Willkom

36 Überprüfungen vor der Inbetriebnahmeiina70d 03.fm Technisches Handbuch(1408)6 Zur Korrektur von möglicherweise vorhandenen Untergrundsignalen (Heli

Überprüfungen vor der Inbetriebnahme 37iina70d 03.fm Technisches Handbuch(1408)3.2.2 Interne Kalibrierung9 Nun mit der internen Kalibrierung fortfahre

38 Beschreibung und Funktionsweiseiina70d 04.fm Technisches Handbuch(1408)4 Beschreibung und Funktionsweise4.1 EinführungDer UL1000 und der UL1000 Fab

Beschreibung und Funktionsweise 39iina70d 04.fm Technisches Handbuch(1408)Das Massenspektrometer besteht hauptsächlich aus Ionenquelle, magnetischer T

4 Inhaltsverzeichnisiina70dIVZ.fm Technisches Handbuch(1408)3.2 Erstinbetriebnahme 343.2.1 Hochlauf und Messen 343.2.2 Interne Kalibrierung 373.2.3

40 Beschreibung und Funktionsweiseiina70d 04.fm Technisches Handbuch(1408)4.2.2 BedieneinheitDie Bedieneinheit Abb. 4-2/7 enthält ein Flüssigkristal

Beschreibung und Funktionsweise 41iina70d 04.fm Technisches Handbuch(1408)4.2.2.1 LCD AnzeigeDie LCD Anzeige Abb. 4-2/1 stellt die Kommunikationssch

42 Beschreibung und Funktionsweiseiina70d 04.fm Technisches Handbuch(1408)Fällt das Messsignal unter den gespeicherten Untergrundwert wird dieser auto

Beschreibung und Funktionsweise 43iina70d 04.fm Technisches Handbuch(1408)Um das Messsignal sehen zu können, muss die ZERO-Taste ca. 3 Sekunden gedrüc

44 Beschreibung und Funktionsweiseiina70d 04.fm Technisches Handbuch(1408)BeispielUm die Triggerschwelle von 1.0x10-9 mbar l/s auf 3x10-9 mbar l/s zu

Beschreibung und Funktionsweise 45iina70d 04.fm Technisches Handbuch(1408)Die Bedingungen für den beschriebenen Evakuierungsvorgang werden beibehalten

46 Beschreibung und Funktionsweiseiina70d 04.fm Technisches Handbuch(1408)Tipp Eine besondere Einstellung für den UL1000 und UL1000 Fab verhindert die

Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab 47iina70d 05.fm Technisches Handbuch(1408)5 Betrieb des UL1000 und UL1000 FabDer UL1000 und UL1000 Fab wird durch Be

48 Betrieb des UL1000 und UL1000 Fabiina70d 05.fm Technisches Handbuch(1408)5.3 Anzeigen im Stand-By ModusIm Stand-By werden am unteren Displayrand di

Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab 49iina70d 05.fm Technisches Handbuch(1408)5.4.2 Lautstärke für das akustische SignalAuf der linken Seite werden zwei

Inhaltsverzeichnis 5iina70dIVZ.fm Technisches Handbuch(1408)6.4.2 Trigger level 2 626.4.3 Lautstärke 626.4.4 Einheiten 626.4.5 Alarmverzögerung 636.4

50 Betrieb des UL1000 und UL1000 Fabiina70d 05.fm Technisches Handbuch(1408)5.4.4 Numerischer AnzeigemodusAuf dem Display wird die Leckrate in großen

Beschreibung der Menüs 51iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6 Beschreibung der MenüsDurch die Betätigung der MENU (Menü) Taste Abb. 6-1 wird das

52 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)1. Ebene 2. Ebene 3. EbeneHauptmenüAnzeige (Siehe 6.2)Skalierung linear/logarithmisch

Beschreibung der Menüs 53iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.2 Anzeige• Hauptmenü > AnzeigeIn diesem Menü Abb. 6-2 sind alle Funktionen, welc

54 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.2.1 Skalierung linear/logarithmisch• Hauptmenü > Anzeige > Skalierung linear/

Beschreibung der Menüs 55iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.2.2 Anzeigebereich automatisch/manuell• Hauptmenü > Anzeige > Anzeigebereich

56 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.2.4 Kontrast• Hauptmenü > Anzeige > KontrastDer Kontrast des Displays ist ver

Beschreibung der Menüs 57iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)Bei Betätigung der START Taste wird dieser aktuell gemessene interne Untergrund von a

58 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.3 Betriebsart• Hauptmenü > BetriebsartDas Menü Betriebsart Abb. 6-3 erlaubt durc

Beschreibung der Menüs 59iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)Hinweis: Der UL1000 kann eine Kalibrierung fordern, falls die Betriebsart gewechselt

6 Inhaltsverzeichnisiina70dIVZ.fm Technisches Handbuch(1408)7.2.1.1 Automatische interne Kalibrierung 897.2.1.2 Manuelle interne Kalibrierung 897.2.

60 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)Prüfen von BauteilenDie Prüfung kann mit der START Taste gestartet werden. Wenn die T

Beschreibung der Menüs 61iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.4 Trigger und Alarme• Hauptmenü > Trigger und AlarmeDie Triggerschwellen, die La

62 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.4.2 Trigger level 2• Hauptmenü > Trigger und Alarme > Trigger level 2Der Wert

Beschreibung der Menüs 63iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.4.5 Alarmverzögerung• Hauptmenü > Trigger und Alarme > AlarmverzögerungIn ein

64 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.4.6 Audioalarm Typ• Hauptmenü > Trigger und Alarme > Audioalarm TypJe nach Au

Beschreibung der Menüs 65iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.4.6.3 SollwertDas akustische Signal ist aus, solange die Leckrate kleiner als der W

66 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6 Einstellungen• Hauptmenü > EinstellungenDieses Menü Abb. 6-12 erlaubt die Anze

Beschreibung der Menüs 67iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.1 Vakuumeinstellungen• Hauptmenü > Einstellungen > VakuumeinstellungenDiese

68 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.1.3 Vakuumbereiche• Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen > Va

Beschreibung der Menüs 69iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.1.4 Leckrate internes Testleck• Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellu

Allgemeines 7iina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1 AllgemeinesHinweis: Wir empfehlen Ihnen, dieses Handbuch sorgfältig zu lesen, um so von Beginn

70 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.1.6 Einstellungen Auto Leak Test• Menu > Einstellungen > Vakuum Einstellung

Beschreibung der Menüs 71iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)Hinweis: Wenn die Messzeit geändert wurde, wird eine Kalibrierung gefordert.Trigger

72 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)Teile im TestDie Nummer des ersten Teils, das getestet wird, kann eingegeben werden.

Beschreibung der Menüs 73iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)Die neuen Werte des gemessenen Untergrundes werden automatisch gespeichert:6.6.2 Zero

74 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.2.2 Zero• Hauptmenü > Benutzerberechtigung > Zero & Untergrund > Zer

Beschreibung der Menüs 75iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.4 Schnittstellen• Hauptmenü > Einstellungen > SchnittstellenHier lassen sic

76 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.4.2 RS232 Protokoll• Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen > RS232

Beschreibung der Menüs 77iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.4.3 Schreiberausgang• Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen > Schre

78 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)LR linDie Ausgangsspannungen sind linear skaliert. Die Ausgangsspannung beträgt 0 - 1

Beschreibung der Menüs 79iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.5 Diverses• Hauptmenü > Einstellungen > DiversesIn diesem Untermenü können

8 Allgemeinesiina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)1.1.2 HinweiseTipp Informationen zu hilfreichen Arbeitsweisen.Hinweis: Informationen zu besonder

80 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.5.3 Leckratenfilter• Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Leckratenfil

Beschreibung der Menüs 81iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.5.6 Wartungssmeldung Auspuff-FilterDer Auspuff-Filter muss regelmäßig gewartet we

82 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.6.7 Überwachung• Hauptmenü > Einstellungen > ÜberwachungKalibrieraufforderung

Beschreibung der Menüs 83iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)Druckgrenze für Vakuumbereiche• Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen

84 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)Maximale Evakuierungszeit• Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen >

Beschreibung der Menüs 85iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.7 Info• Hauptmenü > InfoDas Info Menü Abb. 6-21 erlaubt den Zugang zu Untermenü

86 Beschreibung der Menüsiina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.7.1 Service• Hauptmenü > Info > ServiceÜber das Service-Menü lassen sich spez

Beschreibung der Menüs 87iina70d 06.fm Technisches Handbuch(1408)6.8.2 Zugriff auf Trigger&Alarme Menü• Hauptmenü > Benutzerberechtigung >

88 Kalibrierungiina70d 07.fm Technisches Handbuch(1408)7 Kalibrierung7.1 EinführungDer UL1000 und UL1000 Fab kann auf zweierlei Weise kalibriert werde

Kalibrierung 89iina70d 07.fm Technisches Handbuch(1408)7.2.1 Interne KalibrierungBei der internen Kalibrierung des UL1000 und UL1000 Fab gibt es zwei

Allgemeines 9iina70d 01.fm Technisches Handbuch(1408)Automatische NullpunkteinstellungMessung und automatische Anpassung an den Heliumuntergrund.Durch

90 Kalibrierungiina70d 07.fm Technisches Handbuch(1408)• Die Leckrate am Testleck ablesen und mit der angezeigten Leckrate vergleichen. Bei Abweichung

Kalibrierung 91iina70d 07.fm Technisches Handbuch(1408)• Hier ist keine Aktion erforderlich.• Hier ist keine Aktion erforderlich.• Das externe Testlec

92 Kalibrierungiina70d 07.fm Technisches Handbuch(1408)• Die Balkenanzeige zeigt ein Signal, welches sich nicht weiter verringern darf. Kleine Schwank

Fehler- und Warnmeldungen 93iina70d 08.fm Technisches Handbuch(1408)8 Fehler- und WarnmeldungenDer UL1000 und UL1000 Fab ist mit umfangreichen Möglich

94 Fehler- und Warnmeldungeniina70d 08.fm Technisches Handbuch(1408)8.2 Liste der Fehler- und WarnmeldungenAuf den nachstehenden Seiten wird eine List

Fehler- und Warnmeldungen 95iina70d 08.fm Technisches Handbuch(1408)W32 Vorverstärker-Temperatur ist zu hoch. (< 60°C)• Die Temperatur der Umgebung

96 Fehler- und Warnmeldungeniina70d 08.fm Technisches Handbuch(1408)W45 Emission der Kathode 1 kann nicht eingeschaltet werden. Signal MSIBE auf der M

Fehler- und Warnmeldungen 97iina70d 08.fm Technisches Handbuch(1408)W63 Kapilaren gebrochen Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schüffelleitun

98 Fehler- und Warnmeldungeniina70d 08.fm Technisches Handbuch(1408)W83 Alle EEPROM-Parameter verloren! Bitte überprüfen Sie die Einstellungen!• EEPRO

Wartungsarbeiten 99iina70d 09.fm Technisches Handbuch(1408)9 Wartungsarbeiten9.1 Allgemeine HinweiseWartungsarbeiten der Servicestufe II und III für d